藍寶石晶體的生長需要在較高的溫度和潔凈度的環(huán)境中進行,而鉬片憑借其獨特的物理化學性能,成為藍寶石晶體生長爐中不可或缺的關(guān)鍵材料。

中鎢智鉬片圖片
鉬片在藍寶石生長爐中主要承擔結(jié)構(gòu)支撐、熱管理、抗腐蝕三大核心功能,其應(yīng)用貫穿爐體關(guān)鍵部件:
鉬片用作坩堝支撐與結(jié)構(gòu)的部件,確保晶體生長過程中坩堝的穩(wěn)定性。具體來說,鉬片加工成一定厚度的圓形托盤,承載數(shù)十至數(shù)百公斤的坩堝重量,耐受高溫下的重力負載以避免形變。鉬片制成的支架應(yīng)用于固定坩堝升降系統(tǒng)、籽晶桿等運動部件,需在高溫下保持尺寸精度。

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鉬片用作熱場調(diào)控與隔熱的組件,有利于爐內(nèi)溫度分布控制,進而確保藍寶石晶體均勻生長。鉬片加工成一定厚度的多層圓筒狀隔熱屏,圍繞坩堝外圍,通過反射熱輻射將熱損失降低。在坩堝上方設(shè)置鉬片擋板,調(diào)節(jié)熔體表面熱流分布,抑制Al?O?蒸汽等揮發(fā)物對籽晶的污染。在爐體不同高度設(shè)置帶孔或階梯結(jié)構(gòu)的鉬片,通過改變熱傳導(dǎo)路徑,精確控制固液界面溫度梯度。
鉬片用作耐腐蝕與抗氧化的部件,能避免污染藍寶石熔體。鉬片制成的導(dǎo)流筒引導(dǎo)惰性氣體流動,防止氧氣進入爐腔導(dǎo)致坩堝氧化。爐體頂部或側(cè)面設(shè)置鉬片收集盤,捕獲熔體揮發(fā)的Al?O?顆粒,防止其凝結(jié)在爐壁或籽晶上形成雜質(zhì)源。
藍寶石生長爐用鉬片通常為高純級(純度≥99.95%),雜質(zhì)(如Fe、Cu、Si≤10ppm)需嚴格控制,避免污染熔體。例如,F(xiàn)e雜質(zhì)進入藍寶石晶體后會形成色心,影響光學均勻性。
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